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Shanghai Maoshuo Machinery Equipment Co., Ltd
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Venda de válvulas de vácuo ultra-alto

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Visão geral

Válvulas de ultra-alto vácuo da série VAT UHV da Suíça Aqui está uma análise técnica detalhada das válvulas de ultra-alto vácuo da série VAT UHV, que abrangem suas características, parâmetros e cenários de aplicação para ambientes exigentes como semicondutores e pesquisa científica:

Detalhes do produto

VAT Suíça Válvula de vácuo ultra-alto série UHV

Características principais da série UHV

1. Posicionamento do produto

  • tipoVálvula de vácuo ultra-alta (Ultra-High Vacuum Valve)

  • Aplicação do vácuo:

    • Edição padrão:10⁻⁹ ~ 10⁻ ² mbar

    • Versão personalizadaAté 10-13 mbar (design especial de assado)

  • Vantagens principais:

    • Zero vazamento: Taxa de vazamento de vedação metálica<1×10−¹² mbar=''> (Detecção de vazamento).

    • Resistência ao assado a altas temperaturas: O corpo da válvula pode suportar250 ° C ~ 300 ° CCozinhar (edição padrão)/450°C(Edição personalizada).

    • Sem materiais orgânicosEstrutura totalmente metálica para evitar a poluição por descarga de gás.

2. Desenho

  • Sistema de vedação duplavedação principal (ponta metálica) + vedação secundária (compensação elástica).

  • Motor de baixo torque: acoplamento magnético ou transmissão de tubo ondulado para evitar vazamentos de vedação do eixo.

  • Pureza do materialAço inoxidável 316L (polimento eletrólico de grau EP), rugosidade da superfície < 0,8 μm. <>


Classificação do modelo e parâmetros técnicos

Regras de Nome de Modelo (por exemplo, IVA UHV 24)

Segmento de código Significado
UHV Nome da série (válvula de vácuo ultra-alto)
24 Dimensões do diâmetro (24=DN40, 54=DN100)
Sufixo Modo de condução (por exemplo -M = manual, -A = pneumático)

2. Tabela de comparação de submodelos

modelo Diâmetro Tipo de flange Modo de condução Taxa de vazamento Temperatura de assado Gama de preços (¥)
IVA UHV 24-A DN40 CF-F Pneumático <1×10 ⁻ ¹² mbar = ''> 250°C 50,000~80,000
IVA UHV 54-M DN100 ISO-K Manual <1×10 ⁻ ¹² mbar = ''> 300°C 120,000~180,000
IVA UHV 10-E DN16 ICF elétrico <1×10 ⁻ ¹³ mbar = ''> 450°C (personalizado) 200,000+

3. Parâmetros técnicos detalhados

parâmetro Valor padrão/intervalo
真空性能
- Taxa de vazamento <1×10 ⁻ ¹² mbar = ''>
- Diferença de pressão 10-1 mbar - pressão atmosférica
Propriedades mecânicas
- Material do corpo da válvula Aço inoxidável 316L (classe EP)
- Material de vedação cobre/alumínio ou cobre inoxidável
- Ciclo de vida > 50.000 vezes (vedação metálica)
Parâmetros elétricos / pneumáticos
- Modo de condução Pneumático (0.5 ~ 0.7MPa) / Elétrico (24V DC)
- Tempo de resposta Versão pneumática ≤1s, versão elétrica ≤5s
Adaptabilidade ambiental
- Temperatura de assado 250°C padrão, 450°C personalizado
- Resistência à corrosão Compatível com H2, O₂ e plasma (com revestimento opcional)

3 – Aplicações típicas

1. Fabricação de semicondutores

  • aplicação:

    • Isolamento da cavidade da gravadora/injetor de íons (anti-poluição por partículas).

    • Manutenção de vácuo ultra-alto no sistema de extensão de feixe molecular (MBE).

  • Modelo recomendado:

    • IVA UHV 24-A (DN40, isolamento rápido pneumático).

2. Equipamento de pesquisa científica

  • aplicação:

    • Sincronizar o controle do feixe da fonte de radiação.

    • Segmentação a vácuo de um dispositivo de fusão nuclear (por exemplo, tokamak).

  • Modelo recomendado:

    • IVA UHV 54-M (DN100, vedação manual confiável).

3. Aeroespacial e revestimento

  • aplicação:

    • Teste de vedação a vácuo de tanques de armazenamento de propulsores por satélite.

    • Regulação da pressão da cavidade da máquina de revestimento óptico.

  • Modelo recomendado:

    • IVA UHV 10-E (DN16, controle de precisão elétrica).


Pontos de seleção e instalação

1. Factores-chave da seleção

  • Necessidades de passagemCalculado de acordo com o fluxo (por exemplo, DN40 corresponde a cerca de 20 L/s @ 10-6 mbar).

  • Modo de condução:

    • PneumáticoInterruptor rápido (adequado para isolamento seguro).

    • elétricoControle de automação integrado (por exemplo, PLC).

  • Normas franquias:

    • CF FrançaUltra-alto vácuo (vedação metálica).

    • ICF FrançaRequisitos mínimos de vazamento (por exemplo, 10-13 mbar).

2. Especificações de instalação

  • Requisitos de limpeza:

    • Limpe a flange com acetona/álcool antes da instalação (use luvas sem poeira).

  • Controle de torque:

    • O parafuso da flanja CF deve ser apertado passo a passo em diagonal (DN40 recomenda 8 a 10 Nm).

  • Conselhos de assado:

    • Aquecer até 250°C a uma taxa de 10°C/min e isolar por 48 horas.


V. Manutenção e resolução de falhas

Fenômeno de falha Possíveis razões solução
Taxa de fuga excedente Rasgos na superfície de vedação / poluição por partículas Repolar a vedação ou substituir o assento da válvula
Válvula bloqueada Deformação a alta temperatura / insuficiência de lubrificação Utilizar um lubrificante de alta temperatura (como Apiezon N)
Falha do driver Falha da válvula solenoide (versão pneumática) Verifique a pressão da fonte de ar (≥0.5MPa)