O sistema de teste de descarga eletrostática e bloqueio ES660 é um dispositivo de teste automático de múltiplos pinos projetado para atender aos rigorosos requisitos dos testes modernos de semicondutores. Este dispositivo multifuncional foi projetado para suportar sem problemas o modelo humano (HBM), o modelo de máquina (MM) e os testes de bloqueio, oferecendo uma solução abrangente para avaliar a confiabilidade e robustez de circuitos integrados (IC) e componentes eletrônicos. A configuração ES660-P1 suporta até 1.280 pinos e é ideal para testar IC complexos e componentes eletrônicos com um grande número de conexões. Isso reduz o tempo de teste e aumenta a produtividade.
ES660 Sistema de teste de descarga eletrostática e bloqueio
1. Descrição
O sistema de teste de descarga eletrostática e bloqueio (LU) da série ES660 é um dispositivo de teste automático de múltiplos pinos projetado para atender aos rigorosos requisitos dos testes modernos de semicondutores. Este dispositivo multifuncional foi projetado para suportar sem problemas o modelo humano (HBM), o modelo de máquina (MM) e os testes de bloqueio, oferecendo uma solução abrangente para avaliar a confiabilidade e robustez de circuitos integrados (IC) e componentes eletrônicos. O ES660 é uma versão atualizada da série ES612A com opções de configuração mais elevadas.
A configuração ES660-P1 suporta até 1.280 pinos e é ideal para testar IC complexos e componentes eletrônicos com um grande número de conexões. Sua alta capacidade de número de pinos garante uma avaliação precisa e eficiente de grandes equipamentos, reduzindo o tempo de teste e aumentando a produtividade.
Se for necessário um número maior de pinos, a configuração ES660-P1 pode ser atualizada para ES660-P2 (até 2560 pinos).
2. Características
Compatível com vários métodos de teste e padrões
Configuração altamente flexível de desvios e números de pinos
Eficiência de testes automatizados
Excelente controle e monitoramento
Escaneamento de vazamentos e corrente contínua
análise de dados
Cabeça de descarga múltipla, software de comutação automática
3. aplicação
Teste ESD de dispositivos semicondutores
Módulos HBM em conformidade com ANSI/ESDA/JEDEC JS-001, MIL-STD-883E, AEC Q100-002
Módulo MM em conformidade com ANSI/ESDA SP5.2
Teste de bloqueio conforme JEDEC JESD78
Bloqueios transitórios em conformidade com ANSI/ESD SP5.4.1
4. especificação
Unidade básica ES660
| parâmetro |
ES660 |
Unidade |
Observação |
| Tela de toque |
5 |
polegadas |
|
| dimensão |
480 x 497,5 x 265 |
milímetros |
|
| Peso |
28 |
quilogramas |
Instalação completa |
| ESD 和 LU 波形 |
Sondas de tensão e corrente passivas opcionais |
|
|
| Oscilloscópios suportados |
Modelos principais da Keysight, Tektronix, LeCroy e Rigol |
|
Personalizável |
| SMU suportado |
Modelos principais da Keysight, Tektronix, LeCroy e Rigol |
|
Personalizável |
| Alimentação suportada |
Modelos principais da Keysight, Tektronix, LeCroy e Rigol |
|
Personalizável |
Opções de modelo humano da HBM
(ANSI / ESDA / JEDEC JS-001)
| parâmetro |
ES660-P1-HBM8 (em inglês) |
ES660-P1-HBM10 |
Unidade |
Observação |
| Tensão de saída |
±10~8000 |
±10~10000 |
O V |
|
| Valor RC de descarga |
C: 100 pF ± 10%, R: 1.5k Ω ± 1% |
|
|
|
Curto-circuitoCorrente de pico de cargaEup.s.
|
0,67 ± 10 % por kV |
Um |
|
|
Curto-circuitoTempo de aumento da cargatRs
|
2 < tRs< 10 |
ns |
|
|
Curto-circuitoTempo de decadência da cargatds
|
130 < tds< 170 |
ns |
|
|
Curto-circuitoCampainha TRs
|
< Eup.s.15% dos |
|
|
|
500ΩPico de cargaCorrenteEuPr
|
EuPr/ Eup.s.≥ 63% |
|
|
|
500ΩTempo de aumento da cargatrr
|
5 < trr< 25 |
ns |
|
|
O mais rápidoVelocidade de pulso
|
10 |
um/segundo |
|
| Número de pulsos simultâneos |
>=8 |
|
Mais de 512 pinos |
Opções do modelo MM
(ANSI/ESD SP5.2)
| parâmetro |
ES660-P1-MM2 |
ES660-P1-MM4 (em inglês) |
Unidade |
Observação |
| Tensão de saída |
±10 ~ 2000 |
±10 ~ 4000 |
O V |
|
| Valor RC de descarga |
C: 200 pF, R: 0 Ω |
|
|
|
Curto-circuitoCargaCorrente máximaEuP1
|
1,75±10% por 100V |
|
|
|
Curto-circuitoCargaEup2
|
EuP167% a 90% |
|
|
|
Curto-circuitoCiclo de pulso de cargattarde
|
66 < ttarde< 90 |
|
|
|
500Ω pico de cargaCorrenteEuPr
|
0.85 – 1.2 |
|
@ 400 V em conformidade com os padrões |
|
500ΩCargaEu100
|
0.23 – 0.4 |
|
@ 400 V em conformidade com os padrões |
| Velocidade de pulso mais rápida |
10 |
um/segundo |
|
| Número de pulsos simultâneos |
>=8 |
|
Mais de 512 pinos |
DC & Opções de bloqueio
(JEDEC JESD78F.01)
| parâmetro |
ES660-P1-LU |
Observação |
| Vetor de pré-processamento |
≥ 20 MHz, profundidade de 256K |
Configurações externas |
|
V / I 4Medição Kelvin
|
sim |
|
| Alimentação de ônibus DUT V/I |
3 + 1, 5 + 1, 7 + 1 |
Suporte para extensões externas de fonte DC |
| Captura de forma de onda LU |
sim |
|
|
MatrizDCtensão
|
200 volts |
|
|
SSO R MatrizDCtensão(V)
|
100V |
|
|
PinosDCCorrente
|
2A |
|
| Corrente do canal DC |
15A |
|
| Tensão de fonte de bloqueio padrão |
>= 150V |
Limite de corrente 1.2 A |
|
padrãoFunção de corrente de bloqueio
|
>= 10A |
Tensão 6 V |
Opções de bloqueio temporário TLU
(ANSI/ESD SP5.4.1)
PlanoSuporte de hardware para bloqueio de fontes de pulso transitórias:
ES622 (TLP/ VF–TLP)EOS- 500 (EOS),LVS-500 (LVS),MM
5. Informações de encomenda
| Número |
modelo |
Descrição |
| Opções básicas da unidade |
| 1.1 |
ES660-P1-BU (em inglês) |
Unidade de base do sistema ATE HBM/MM/LU com base em relés |
| 1.2 |
ES660-P1-HBM8 (em inglês) |
Opções de teste de modelos HBM, voltagem até 8 kV |
| 1.3 |
ES660-P1-HBM10 |
Opções de teste de modelos HBM, tensão até 10 kV (parada de produção) |
| 1.4 |
ES660-P1-MM2 |
Opções de teste do modelo MM, tensão até 2 kV |
| 1.5 |
ES660-P1-MM4 (em inglês) |
Opção de teste do modelo MM, tensão até 4 kV (parada de produção) |
| 1.6 |
ES660-P1-LU |
Opções de teste de bloqueio (software) |
| 1.7 |
ES660-P1-TLU |
Opções de teste de bloqueio transitório (software – TLP, EOS) |
| 1.8 |
ES660-TFM |
Módulo de controle de temperatura |
|
RelaiscartãoSelecção de viés DC
|
| 2.1 |
ES660-P1-R64B4 (em inglês) |
Cartão de relé de extensão, 64 pinos, desvio 3+1 |
| 2.2 |
ES660-P1-R64B6 (em inglês) |
Cartão de relé de extensão, 64 pinos, desvio 5+1 |
| 2.3 |
ES660-P1-R64B8 (em inglês) |
Cartão de relé de extensão, 64 pinos, desvio 7+1 |
|
corrente contínua,vazamento elétricoeBloqueioOpções de fonte de pulso
|
| 3.1 |
ES660-PSMU2 |
Fonte de fuga \DC \LU: SMU de pulso de dois canais (210V/1.5A) |
| 3.2 |
ES660-SMU1 |
Fonte de corrente contínua: SMU de canal único (200V/1A) |
| 3.3 |
ES660-PSU1 |
Alimentação DC: PSU de canal flexível (32V/3A X 2 Ch + 6V/5A X 1 Ch ou 70V/3A X 1 Ch ou 32V/6A X 1 Ch + 6V/5A X 1 Ch) |
| 3.4 |
ES660-PSU2 |
Alimentação DC: PSU de 3 canais (60V/3A X 2 Ch + 5V/3A X 1 Ch ou 125V/3A X 1 Ch) |
|
3.5
|
ES660-PSU3 |
Alimentação DC: PSU de alta corrente (20V/20A X 1 Ch) |
| 3.6 |
ES660-PSU4 |
Alimentação DC: PSU de alta corrente (30V/25A X 1 Ch) |
| 3.7 |
ES660-PSU5 |
Alimentação DC: 3 canais PSU (30V/6A X 2 Ch, 5V/3A X 1 Ch ou 60V/6A X 1 Ch) |
| 3.8 |
ES660-PSU7 |
Alimentação DC: Dual-Range PSU (100V/1A ou 30V/5A) |
| 3.9 |
ES660-PSU-MC1 |
PSU multicanal: quadro principal, com osciloscópio |
| 3.10 |
ES660-PSUC1 (em inglês) |
PSU multicanal: módulos 50V, 5A, 50W |
| 3.11 |
ES660-PSUC2 |
PSU multicanal: módulos 50V, 10A, 100W |
| 3.12 |
ES660-PSUC3 |
PSU multicanal: módulos 60V, 5A, 300W |
| 3.13 |
ES660-PSUC4 |
PSU multicanal: módulos 100V, 1A, 100W |
| 3.14 |
ES660-PSUC5 |
PSU multicanal: módulos 100V, 3A, 300W |
|
3.15
|
ES660-PSUC6 |
PSU multicanal: módulos 150V, 2A, 300W |
| Teste de opções de tomada |
| 4.1 |
ES660-P1-DS512 |
DUT socket PCB 512 pinos |
| 4.2 |
ES660-P1-DS1024 (em inglês) |
DUT socket PCB 1024 pinos |
| 4.3 |
ES660-P1-DSC1 |
Número de pinos personalizados para PCB de saída DUT |
| Opções do osciloscópio |
| 5.1 |
MISC-OSC350 |
Oscilloscópio digital (350 MHz, 4 canais) |
| 5.2 |
MISC-OSC1 |
Osciloscópio Digital (1 GHz, 5 GS/s, 4 Ch) |
|
5.3
|
CT-T03-1p0 |
Sonda de corrente de banda larga, 1V/A, 2kHz – 2GHz |
Nota: A placa-mãe, o cartão de matriz, a placa de forma de onda e a placa de diagnóstico de autocalibração pertencem à configuração padrão do dispositivo e, portanto, não são refletidos nas informações de encomenda.
ES660 Sistema de teste de descarga eletrostática e bloqueio